Halbleiterindustrie

Das Verständnis von SKion Water für die Prozesse und Anforderungen in der Halbleiterfertigung macht uns zum idealen Kontakt für umfassende Wassermanagement-Lösungen bei der Herstellung von Rohsilizium-Wafern, Mikroprozessoren, digitalen Speicherchips, Flachbildschirmen (FPD) und Dünnschichttransistoren (TFT).

Reinstwasserproduktion

SKion Water versorgt die internationale Halbleiterindustrie mit Reinstwasser in höchster Qualität und erfüllt die strengen TOC-Kriterien (Total Organic Compound).

Wir liefern das Design, die Installation und die Inbetriebnahme von Hightech-Reinstwasseraufbereitungsanlagen (UPW) und bieten unseren Kunden die besten vollintegrierten Lösungen für die Aufbereitung und das Recycling von Wasser auf dem effizientesten Energieniveau. Für die Herstellung von Reinstwasser verwenden wir eine Kombination von Technologien und Verfahren wie Membranen, Ionenaustausch und thermische Prozesse. Mit über 200 weltweit installierten Reinstwasser-Aufbereitungssystemen garantieren wir unseren Kunden die höchsten Wasserspezifikationen der Branche, modernste Technologie und niedrigste Betriebskosten.

Abwasserbehandlung

SKion Water hat sich dem Schutz der Umwelt, der Schonung von Ressourcen und der Bewältigung neuer Herausforderungen in der Fertigung verschrieben und ein hochmodernes Verfahren zur Aufbereitung von Halbleiterabwässern entwickelt, das die aktuellen und zukünftigen Anforderungen an die Rückgewinnung und Einleitung erfüllt.

Bei der Herstellung von Halbleitern fallen verschiedene Abwasserzusammensetzungen an, die eine spezielle Behandlung erfordern, um die strengen globalen und lokalen Rückgewinnungs- und Einleitungsvorschriften zu erfüllen. Wir bieten maßgeschneiderte Lösungen zur Behandlung von Abwässern, die Fluorid, Ammoniak, Metalle, anorganische Partikel und andere Verunreinigungen enthalten.

Wasserrecycling/Rückgewinnung

Bei der Halbleiterherstellung werden während des Produktionsprozesses große Mengen an Reinstwasser (UPW) und Chemikalien benötigt, wodurch Abwasser entsteht, das wiederaufbereitet werden muss. Unsere Aufbereitungssysteme für die Wiederverwendung und Rückgewinnung reduzieren das Abwasser und das in der Produktion benötigte Rohwasser erheblich.

Ein zuverlässiges Halbleiter-Wasserrecycling- und -Rückgewinnungssystem ist notwendig, um einen wirtschaftlichen Produktionsprozess zu gewährleisten und die für das Wachstum der Branche benötigten Ressourcen zu sichern.

Die Spülwässer mit geringem Anteil an organischen Feststoffen (TOC) (zweite und letzte Spülung sowie organikfreie Spülung) machen etwa 40 % des gesamten Reinstwasser-Verbrauchs in einer durchschnittlichen Halbleiterfertigungsanlage aus. Abhängig von der Leitfähigkeit des Wassers werden Systeme mit oder ohne Ionenaustausch installiert.

Organikhaltiges Spülwasser fällt bei verschiedenen Reinigungsprozessen und organischen Bädern an. Durch die Systeme von SKion Water zur Entfernung organischer Stoffe kann Spülwasser mit hohem TOC-Gehalt für das Recycling oder die Wiederverwendung zurückgewonnen werden. Diese spezialisierten Anlagen bestehen aus fortschrittlichen Überwachungs- und Steuerungsgeräten, gefolgt von Aktivkohlefiltern und verschiedenen Schritten zur Organikentfernung. Der gesamte Prozess ist speziell auf die Art und Konzentration der verschiedenen organischen Verbindungen ausgelegt.

Analytische Geräte

SKion Water hat innovative und zuverlässige Analysatoren zur Überwachung von Wasserkomponenten oder Verunreinigungen wie Trihalomethane (THM) und Harnstoff entwickelt.

Unsere erweiterten Online-Analysatoren bieten kontinuierliche und genaue Harnstoff/THM-Messungen in Echtzeit. Der Harnstoff-Analysator kann in jedem Prozesswasserstrom eingesetzt werden, in dem die Harnstoffkonzentration von Interesse ist. Die permanente Überwachung ist in der Lage, saisonale Schwankungen des Harnstoffs zu erfassen und ermöglicht dadurch die Prozessschritte der Aufbereitung anzupassen, um seine Entfernung aus dem Wasser zu maximieren. Der THM-Analysator ist in der Lage, Messungen in Echtzeit für Trink-, Abwasser, Prozess- und Reinstwasser zu liefern und dadurch den Wasserdesinfektionsprozess zur Entfernung von THM zu steuern.

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